阉割版的出口光刻机，全部采用石英透镜。

石英有良好的光学性能，化学性能也很稳定，光科技运转的时候，能保证紫外光传输稳定。

。

石英透镜技术，早在五十年代就出现了。

鉴于制造技术，石英透镜多为球形或圆柱形，加工简单，能保证加工精度。

实践中。

也有人把石英透镜制造成非球面形状。

用在一些精度需求不高的地方。

光刻机精度要求高。

只有球面和柱形石英透镜才能满足精度要求。

石英透镜技术从五十年代出现，一直用到七十年代，中间有多次改良，改良幅度都不大。

仍然是以球面和柱状为主。

石英透镜制造简单，缺点也“零六零”

十分明显。

首先。

使用石英透镜，容易引起球差、慧差和像散等光学问题，这些问题会造成成像失真，影响光刻机性能。

限制了芯片精度。

同时。

因为石英透镜是球面状的，或者是柱状的，造成焦点深度相对较浅。

焦点深度和清晰成像范围成正比，焦点深度越浅，精细成像范围越小，限制了光刻机的性能。

其次。

石英透镜工艺局限和设计局限，限制了它的最小加工精度。

是用石英透镜，最小精度都是微米级。

除非有革命性的加工工艺进化，或者换一种材质的透镜。

否则。

加工精度突破不了微米。

第三就是加工精度限制。

石英透镜表面是圆形的，或者是援助型的，看起来很圆滑。

实际从微观角度观察，很难做到标准的圆。

肉眼看不出来，因为肉眼的精度有限，可一旦用在光刻机上，精度到微米级别，影响就很大。

会导致成像不稳定，导致光学畸形。

出口的阉割版光刻机，用的都是石英透镜，因为成像不稳定和光学畸形，废品率就会很高。

废品率高。

成本分摊到成品上。

造成芯片的成本普遍偏高。

第三是石英的光学折射率相对较高。

折射率高，就会产生折射效应和衍射效应，会造成成像模糊，在一定程度上影响精度。