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第45章

姜文泽现在的资金还在对方手里攥着,更是不可能说什么丑话,赶紧打圆场道:

“岑部长愿意来,那是我们的荣幸,只不过由于特殊原因,我们这个会议只能在这个狭小的办公室开展,您见谅。”

“这有什么枪林弹雨都经历过了,这么大的地方根本不在话下。”

岑部长也不是什么讲究的人,随意在姜文泽刚刚的座位旁边落座,切切实实地做好自己旁听的身份。

见状,其他人也随意挑选了一个座位坐下。

最后呈现在众人面前的就是如此诡异的画面,所有能够拥有座位的都是教授级别青老年,除了李筠三人,因此在整间办公室里面,三个人所在的区域格外惹人注目。

姜文泽看着时间差不多,对着李筠三人的方向点点头,说出开场白。

“今天特意邀请大家来这里相聚,是想要和大家分享一下我们团队,近期发现的一项重大成果,具体内容将由我团队里的李筠、秦浩、黎绵三人介绍。”

话音刚落,原本就锁定在三人身上的视线更加炙热。

秦浩和黎绵两人也忍不住将自己的目光转移到李筠身上。

这下子李筠还有什么不明白的,看来她自己就是那个做讲解的人。

对于这样的场面她熟视无睹,既然同伴将“麦克风”

交到她手里,她也不会推辞。

于是,在大家的注视下,李筠站起身,一边将自己和秦浩、黎绵身前的资料和数据往桌上的人手里发,一边开口介绍道:

“这里面是我们三人在探索深紫外光源的过程中,所产生的一系列相关数据,以及我们探索路径的选择缘由。

自从人们发现汞灯可以产生稳定可持续的g-line和i-line紫外光源之后,这两种光源就一直作为光刻机所采用的光源。

但是随着时代的变化,我们逐渐发现这两种光源所制作的晶圆,远远不能达到现在的需求。

为此,我们姜教授团队开始了寻找深紫外光源的探索。

前期,因为汞灯能够产生更短的i-line,我们也是继续在这方面深入研究,但很快我们就发现,这几乎已经达到了它的极限。

之后,我们联想到激发态的分子在向基态跃迁时,会产生……”

李筠用着不紧不慢地语气,将他们这半年来的研究过程娓娓道来。

虽然大家都没从语句中听到惊险、无奈的词句,可是在场的每一个人都很清楚,没什么研究会是如此简单的,其中的困难三言两语更是说不清楚。

但就是这样的话语,听着更让人舒服,也更让人心疼。

而大家也逐渐明白这次会议的主题,那就是他们终于发现了比365nmi-line波长更短的193nm的arf准分子激光。

这对于众人而言,简直就是难以置信的重大发现。

因为光源的波长越短,光刻机的分辨率就越小,分辨率越小,代表着清晰投影出来的图像越小。

在同样大小的一块晶圆上,投影图像越小,那么能在里面刻出的内容就越多,存储的信息就越多。

更震惊的是,这只是一个大一学生在看到分子跃迁时产生的突发联想。

众人不由得在内心感叹后生可畏,岑部长更是将自己的目光频频投向李筠身上,感叹对方的才思敏捷。

同时也松了一口气,这个重大发现意味着,本轮之后,微电子研究所的资金还可以再下拨不少,希望足够支撑大家到达下一轮研究。

在有些事情上,他也是有心无力。

虽然,大家都听清楚了几人是如何联想、发现的,但是本着对科学的严苛态度,还是有人不断发声提问。

“我看你们说,再使用arf之前,还使用了xef2,这两种化合物都含有剧毒且极其不稳定,你们确定激光器不会因此而产生难以预想的变化吗?”

李筠说了那么久,嘴巴都说干了,赶紧给其他两人抛去眼神。

秦浩当即站出来,描述他们对于未来激光器设计的想象。

“其实在我们注入气体之后就发现了这个潜在的隐患,所以,我们想要在未来激光器的设计上,专门设置一个……”

众人听着秦浩的话一起想象,在座的绝大部分人都是操作过激光器,根据秦浩的描述很快就能想到这个方法的优点,不由得对三人充足的准备感到满意。

听到最后,众人甚至忍不住鼓起掌来。

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